#互聯網技術[超話]# 【從ASML總裁上演變臉大戲，看中國光刻機技術進步的足跡和台階】 ASML是光刻機霸主，它對中國的態度像一條變色龍一樣，上演一次次變臉大戲—— 1、2002年，承擔國家重大科研任務的上海微電子成立，剛一成立，總經理賀榮明就帶着技術團隊去歐洲和美國考察學習光刻機技術。但是，到了荷蘭ASML之後，一位德國的工程師卻對中國代表團的到訪不屑一顧，壓根不拿正眼看我們，而且還直接將光刻機的圖紙拿出來擺在我們面前，並撂下了一句狠話：“就算給你們全套圖紙，你們也造不出來光刻機！”直到2016年，上海微電子才終於實現了90nm光刻機的量產。 2、2019年，美國开始對我們制裁後，而ASML就成爲了美國施壓的主要對象，要求ASML限制對中國光刻機的供應。ASML總裁溫寧克又把當年的話搬出來說了一遍：“就算給你們（中國）圖紙，你們也造不出來”。總裁先生認爲中國的光刻機太落後，根本追不上他們，所以對中國表示不屑一顧。 3、2022年1月，ASML總裁溫寧克又發話了：“中國目前不太可能獨立掌握頂級光刻技術。”這次口吻开始變了。 4、2023年2月，哈工大成功研發出超精密高速激光幹涉儀，還斬獲了世界光子大會“金燧獎”。這項技術不僅實現亞納米級甚至深亞納米級的高分辨力高精度位移測量，而且可成功應用於我國350nm至28nm多個工藝節點的光刻機樣機集成研制和性能測試領域。它爲EUV光刻機的研發提供了技術儲備。ASML總裁溫寧克又變臉了，宣稱：“美國的制裁會逼中國人研究出自己的技術。中國的物理定律和全世界的都一樣，中國沒理由造不出光刻機。”顯然他开始焦慮不安了。 5、哈工大在今年4月份又成功實現了DPP-EUV光源技術，這直接讓ASML感受到了前所未有的危機。於是，ASML總裁溫寧克再次變臉，矛頭直指中企的自主研發行爲。他表態說：“中國過度執着於自研光刻機，自己去搭建產業鏈，會直接破壞到全球化的供應鏈體系！”他开始恐懼敵視了。 我只想爆一次粗口，去你媽的！好戲在後頭，走着瞧！

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