光源
國產套刻8nm光刻機引爭議,我們追趕對象真的是ASML嗎?
日前,工信部印發的《首台(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》(以下簡稱“目錄”)中顯示,中國已攻克氟化氬光刻機,其中...