2 奈米製程大戰!ASML 下代 EUV 曝光機年底問世,台積電、三星紛卡位台積電投資英特爾 IMS,業界這麼看

2023-09-14 14:57:00    編輯: 林 妤柔
導讀 台積電以不超過 4.328 億美元額度,取得英特爾旗下 IMS 事業(奧地利商艾美斯電子束科技)10% 股份,預計第四季完成交易,推動 EUV(極紫外光)先進曝光技術的創新。業界持正面看法,而韓媒認...


台積電以不超過 4.328 億美元額度,取得英特爾旗下 IMS 事業(奧地利商艾美斯電子束科技)10% 股份,預計第四季完成交易,推動 EUV(極紫外光)先進曝光技術的創新。業界持正面看法,而韓媒認為這將加劇 2 奈米製程的競爭狀況。

韓媒 Business Korea 對於台積電這次收購感到喫驚,因為 IMS 是開發 EUV 設備所需的多光束光罩寫入工具的領導廠商,市佔率達 98%;該公司生產的多光束光罩寫入工具能更精確、快速地刻制光罩,有效改變半導體業的遊戲規則。

業界人士甚至認為,如果沒有 IMS 設備,ASML 的 EUV 曝光機恐毫無用處,而台積電與英特爾合作似乎是期待 ASML 下一代 High-NA EUV 微影曝光設備。隨著曝光設備在 7 奈米以下製程的重要性不斷增加,台積電打算深化現有的技術合作。

天風國際證券分析師郭明錤則認為,台積電 Arm 與 IMS 這兩筆投資主要目的為提高垂直整合能力,確保從目前 3 奈米的 FinFET 技術能順利轉換到 2 奈米的 GAA 技術。其中,投資 IMS 則可確保關鍵設備的技術開發與供應能滿足 2 奈米商用化的需求。

英特爾 2009 年投資 IMS,2016 年收購剩餘股份,今年 6 月則釋出 20% 股份給貝恩資本(Bain Capital)。

至於緊追在台積電身後的三星,曾於 2012 年以 7,000 億韓圜收購 ASML 3% 股份,以合作未來的曝光機開發;但到 2016 年,三星以收回投資為由出售一半 ASML 股份,截至今年第二季末,三星僅保留 0.7% 股份。

但儘管如此,產業專家認為三星和 ASML 的合作關係仍相當牢固,據了解,三星正準備確保下一代 EUV 微影曝光設備 High-NA 的產量,預計這款設備將於今年晚時推出原型,明年正式供貨。

報導預計,SK 海力士、台積電和英特爾都將加入下代曝光設備的競爭;另一方面,2 奈米製程競爭也不斷升級。台積電去年宣布已準備試產 2 奈米產品,以維持領先地位,三星則計劃利用 GAAFET 技術來彎道超車,隨著英特爾和 Rapidus 也加入 2 奈米戰局,先進製程競爭將更加激烈。

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