來源：EETOP

據俄羅斯科技媒體CNews報道，2026年後，俄羅斯將开始較大規模的用於光刻的激光器生產，每年計劃組裝至少五台這樣的激光器。开發工作進展迅速，測試計劃於2025年進行。

CNews報道截圖（網頁自動翻譯）

俄羅斯半導體制造業復蘇

俄羅斯將建立用於光刻的國產准分子激光器生產线，准分子激光器用於制造芯片。據CNews報道，俄羅斯工業和貿易部副部長瓦西裏·什帕克(Vasily Shpak )透露，離激光器投產的時間已不遠，2026年後每年將生產至少五台這樣的激光器。激光器的开發由拉薩德集團負責。

需要注意的是，什帕克並未透露更具體的生產啓動時間或範圍，不過他表示，激光器將在2025年开始測試。

測試工作將由“Zelenograd納米技術中心”（ZNTC）的員工負責，激光器將用於最初設計爲350nm工藝的光刻機中。新激光器將提升其能力至130nm。作爲對比，2024年最先進的芯片制造工藝爲3nm，該工藝被用於台積電的工廠以生產蘋果的芯片。

什帕克表示，光刻機和激光器的潛在客戶已經存在，雖然他沒有透露全部名單，但指出其中包括“Микрон（Mikron）”，這是一家自稱爲俄羅斯第一芯片制造商的大型半導體生產企業。

爲什么這很重要

到2024年9月26日，拉薩德集團已經准備好了准分子激光器的原型機。什帕克表示，俄羅斯現在離實現130nm光刻機的生產更近了。他還補充說，光刻機本身將於2026年面世。

什帕克進一步指出，該激光器未來還可以支持90nm的生產。激光器可以使工藝向更小的節點方向發展。他透露，俄羅斯已經在爲90nm和65nm工藝的材料和設備开發進行前期工作。

俄羅斯的首台光刻機

據塔斯社報道，什帕克稱搭載拉薩德激光器的光刻機爲“俄羅斯首台光刻機”。該設備最初設計爲350nm工藝芯片的生產，這一工藝的巔峰期是在1995-1996年。

Vasily Shpak 在 Lassard Group of Companies 的激光原型演示中

350nm尺寸的芯片雖然較大，但仍被廣泛應用於汽車工業、能源和電信等行業。

根據Zelenograd.ru網站的信息，俄羅斯的350nm光刻機重3.5噸，尺寸爲200×260×250釐米（包括光學-機械設備和激光器的鏡頭，工作波長爲365nm）。拉薩德的激光器將使這台光刻機從350nm工藝提升至130nm。

背後的公司

什帕克表示，拉薩德集團將與ZNTC合作，前者是激光器的开發商，後者是技術供應商。ZNTC將負責光刻機的生產。

拉薩德集團成立於2015年4月，注冊資本約爲305萬盧布，主要業務爲自然科學和技術領域的研究和开發。

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標題：俄媒：光刻機突破西方封鎖！

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