半導體各項製程進入微型化奈米時代，微粒污染掌控度也愈來愈受重視，身為台灣極少數 AMC 監測廠商的，就扮演關鍵角色。

什麼是AMC？即使台灣是半導體王國，對護國神山略知一二，這名詞對多數人來說可能仍很陌生。

AMC（Airborne Molecular Contamination）是氣體性分子污染物的縮寫，常溫常壓下以氣態形式存在空氣，含量雖未造成人身傷害，但對精密半導體產業來說，足以造成影響。簡單說，半導體製程用到大量酸鹼調配清潔或蝕刻溶液，光阻液含溶劑，揮發到空氣，就容易污染晶圓。

《財訊》報導，創控董事長王禮鵬期望經過一番科普，市場能更了解創控在半導體產業扮演的角色。創控就是精密氣體監測設備研發製造商，半導體製程日益精密、進入微型化奈米時代後，AMC監測也日益受重視。

跨領域》從生技轉半導體

「一開始，我不是要做AMC監測，而是想投入生技領域開發呼吸道醫療器材。」王禮鵬回憶創業的辛苦過程，2001年取得美國賓州州立大學工程科學博士，立刻投身英特爾，負責擅長的微機電領域技術，當時與AMC監測並無太多連結。

七年後，王禮鵬為了實現創業夢想離開英特爾。那時美國最熱門的議題就是biotech（生物科技），於是他與五位好友一同投入生技產業，從所學微機電領域技術為基礎，專注呼吸道疾病檢測設備。那時這類產品很難離開醫院，自然無法順利擴展，很快就燒光資金。直到回到台灣，因半導體聚落，才又發現到AMC監測的新商機。

「其實不是我跨領域，不管生技氣體監控或科技環境氣體監控，原理都與機電領域有關。」王禮鵬解釋，AMC監測並不是創控的發明，但以往監測是以實驗室為主，且主機非常大，沒有適合的商業模式。為了導入商業領域，監測技術及設備要更精準偵測、更即時，體積也要縮小，才是創控努力的方向。

然而第一家找上創控的其實是中鋼。中鋼需要掌控並及早防制空氣可能污染成分，故要創控協助監控氣體分析。王禮鵬說，聽起來好像容易，其實空氣有兩三百種氣體，如何設計晶片即時監測哪種氣體外漏，哪塊遭污染，就需一定門檻了。

至於半導體產業，以往對氣體污染監控不太重視，唯一保護機制可能就是無塵室出入口處設置濾網。但進入奈米階段，再小的污染在晶圓前都顯得巨大，這時AMC監測逐漸顯露出重要性。

防污染》晶圓廠標準配備

王禮鵬指創控成立時，半導體廠對AMC監測需求確實不大，可能只有台積電比較重視。但台積電爆發光阻液污染事件後，AMC監測立刻成為各大晶圓廠的標準配備。

《財訊》報導，先進製程愈往前走，晶圓廠對AMC監測要求就愈嚴格。舉例為了保護晶圓，台積電會請協力廠商生產光罩保護盒方便運送、不受微粒污染。現在就連這光罩保護盒都要先經AMC監測，確定材質不會產生氣體污染，才可取得晶圓廠認證。

法人分析，從這微小動作，就可看出AMC監測需求，隨著半導體高階製程提升，出現跳躍式增長。創控第一季營收因全球半導體設備支出持續擴大，達5,500萬元，年增率25%；毛利率更連續多年維持五成以上，表現的確亮麗。

創控發言人呂秀孺也補充說，目前AMC監測需求，除了半導體產業大趨勢不變，美國公共環境方面，也希望完整監控，取得數據分析，有防制效果。保護人民健康的考量下，類似環境應用端將隨各國法規制定，會有很大成長動能。

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