宏廣新技近日正式啟用位於南科的專業氣體純化分裝工廠，以及耗資 1 億元建置的高純化氣體奈米實驗室，因應 BCP（Business Continuity Planning）要求，實現在地化供應，目標成為第三方公證單位，提供高純化氣體和化學品的高端專業分析驗證，完善台灣半導體特殊氣體化學品供應鏈。

宏廣新技自 2022 年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社（AWI），以及百年企業三井物產株式會社（MBK）入股，握有全球稀缺的原物料資源，藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術，投資擴建南科的新廠，完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術，作為在地化短鏈供應。

新廠分為第一期廠區 2,400 坪，預計將生產半導體級超純度二氧化碳（CO2）每月達 1,200 噸及一氧化二氮（N2O）每月達 140 噸，接著第二期 2,600 坪廠房，預計將在年底啟用，作為特用氣體倉儲使用，以及製造氟碳類氣體產品，預計宏廣到 2026 年將提供特殊氣體種類達 8~9 種以上。

宏廣新技執行長張錫濱表示，受到疫情及地緣政治影響，全球半導體供應鏈都朝友岸工廠發展，客戶紛紛加速 BCP 要求，重要的原物料供應不能單靠單一國家，並要就近生產供應，宏廣南科廠宣示啟動在地化，提供高端特用純化技術，服務台灣半導體產業，穩健邁向 ESG 永續經營。

張錫濱指出，受到全球聚焦在碳捕捉（CCUS）的議題影響，宏廣具備最先進的二氧化碳捕捉與純化技術，可將石化鋼鐵工業產出的工業級 CO2 副產物，純化為半導體廠所需求的超高純 CO2，超高純度的二氧化碳在 EUV 製程裡作為一個激光發射器的很重要介質。

張錫濱說明，由於氣體的純度會影響到整個製程的良率，目前超高純 6N 的 CO2 用在 EUV 極紫外光的曝光機，宏廣台南廠已可生產 8N 超高純度的 CO2，用在 7 奈米製程，甚至是 5 奈米以下，高端製程越精進發展，對 CO2 的純淨度的要求將更為嚴苛。

張錫濱強調，宏廣有信心、決心和專業高端技術，結合日本在原物料上的尖端研發，提供產品的技術橋樑，未來台南成功營運模式將整廠輸出到日本、美國、德國，宏廣期待與台灣半導體產業在全球布局更上一層樓。

（首圖來源：宏廣新技）

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